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ウェハー表面用ポリウレタン(PU)ポリッシングパッド

ウェハー表面用ポリウレタン(PU)ポリッシングパッド

ポリウレタン(PU)ポリッシングパッド

ガラス、LCD・LED基板、精密光学部品、ハードディスク、金属、半導体ウエハーの表面ポリッシング・仕上げ加工

モデル:MSH-110, MSH-120, MSH-130, MSH-210, MSH-230

厚さ:0.02" (0.508 mm) - 0.20" (5.08 mm)


製品詳細

光学製品は、研磨パッドの適用分野の違いにより、以下の4つのカテゴリーに分類されます:

♦一般光学部品:タッチパネル用ガラス(サイトガラス、携帯電話用ガラス、PAD、LCDガラス)等

♦精密光学部品:各種光学レンズ、プリズム、石英ガラス、フィルター(青色ガラス)、コリメーター(視準器)

♦ガリウムヒ素、炭化ケイ素、サファイア基板及びエピタキシャル・ウエハー、半導体ウエハー、精密セラミックス(ジルコニアセラミックス、窒化アルミニウムセラミックス

♦赤外線レーザー(コロナウイルスのせいで、赤外線業界の製品は非常に人気)

 

スケッチ・スペック

ポリウレタン(PU)ポリッシングパッドの厚さ

PU研磨パッドの標準的な厚さ:0.020" (0.508mm)~0.20" (5.08mm)

モデル 充填剤 平均密度 G / cm³ (Ib / ft³ ) 平均硬度 shore - A 用途
      

MSH- 66

酸化セリウム 0.42 (26) 78 ガラス、水晶、メタル、セラミック

MSH- 77

酸化セリウム 0.43 (27) 78 ガラス、水晶
 

MSH- 13

酸化セリウム 0.35 (22) 66 ガラス、水晶

MSH- LASER

酸化ジルコニウム 0.59 (37) 90 メタル、セラミック、メタル

MSH- 46

酸化ジルコニウム 0.40 (25) 74 ガラス、水晶

MSH- 26

酸化ジルコニウム 0.57 (36) 88 ガラス、水晶

MSH- 57

なし 0.51 (32) 88 ガラス、水晶、メタル、セラミック

MSH- 87

なし 0.77 (49) 96 ガラス、水晶、メタル、セラミック

ポリウレタン(PU)ポリッシングパッドのスペック:

形状 寸法図(inches / mm)
矩形 23 x 55 " 584.2 x 1397 mm
36 x 71 " 914 x 1803 mm
正方形 42 x 42 " 1066 x 1066 mm
52 x 52 " 1320 x 1320 mm
円形 φ 26 " 660 mm
φ 32 " 812 mm
φ 38 " 965 mm
φ 52 " 1320 mm
Ps: ほかのサイズ及び形もカスタマイズできます。
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