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シリコンウェーハ薄化用バックグラインディングホイール

シリコンウェーハバックグラインディングダイヤモンドホイール

用途: LED 産業のサファイアウエハー、シリコンウエハー、ガリウム砒素、窒化ガリウムウエハーのバックグラインディング用

研削盤:NTS, SHUWA, ENGIS, Okamoto , Disco, TSK and STRASBAUGH等

ボンド:ビトリファイド・レジン

ホイールの直径: 200mm、250mm、280mm、300mm、350mm

エピタキシャルウェーハの直径: 2"、4"、6"


製品詳細

シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイールの紹介:

シリコン用ホイールは主にシリコンウェハーのドレッシングに使われています。我々が生産したこれらの製品は抜群な研削能力及びコスパフォーマンスを持ち、世界中でトップレベルでございます。

シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイール ウエハーのバックグラインディング

シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイールの用途:

サファイアエピタキシャルウエハー、シリコンウエハー、ガリウム砒素と窒化ガリウムのフレークに裏面研磨、中.仕上げ砥に使います。

適用可能な機械:

裏面研削ホイールはOkamoto , Disco, Strasbaughなど日本、ドイツ、アメリカ、韓国などのグラインダーに使えます。

シリコンウェーハバックグラインディング用ダイヤモンドホイールの特徴:

* 加工損傷の最小化、加工効率の向上、加工コストの削減に役立ち、お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。

*表面品質:チッピング、破片、けがきなどのない、均一な研削

*処理精度:TTV <5 um

*加工品質:表面粗さ:<10 nm;

 

スケッチ・スペック

シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイールのスペック:

モデル

D (mm) T (mm) H (mm)
 

ウエハーのバックグラインディング

6A2/6A2H

175

30, 35

76

200

35

76
350 45

127

 

シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイール

6A2T

195 22.5, 25 170
280 30

228.6

 

シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイール

6A2T(3つの楕円 )

350 35

235

209

22.5

158

お客様のご要望に応じてほかの仕様もカスタマイズできます。

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