製品詳細
シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイールの紹介:
シリコン用ホイールは主にシリコンウェハーのドレッシングに使われています。我々が生産したこれらの製品は抜群な研削能力及びコスパフォーマンスを持ち、世界中でトップレベルでございます。
シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイールの用途:
サファイアエピタキシャルウエハー、シリコンウエハー、ガリウム砒素と窒化ガリウムのフレークに裏面研磨、中．仕上げ砥に使います。
適用可能な機械:
裏面研削ホイールはOkamoto , Disco, Strasbaughなど日本、ドイツ、アメリカ、韓国などのグラインダーに使えます。
シリコンウェーハバックグラインディング用ダイヤモンドホイールの特徴:
* 加工損傷の最小化、加工効率の向上、加工コストの削減に役立ち、お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。
*表面品質：チッピング、破片、けがきなどのない、均一な研削
*処理精度：TTV <5 um
*加工品質：表面粗さ：<10 nm;
スケッチ・スペック
シリコンウェーハ薄化用ダイヤモンドホイールのスペック：
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モデル |
D (mm) | T (mm) | H (mm) |
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6A2/6A2H |
175 |
30, 35 |
76 |
|
200 |
35 |
76 | |
| 350 | 45 |
127 |
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6A2T |
195 | 22.5, 25 | 170 |
| 280 | 30 |
228.6 |
|
|
6A2T(3つの楕円 ) |
350 | 35 |
235 |
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209 |
22.5 |
158 |
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お客様のご要望に応じてほかの仕様もカスタマイズできます。 |
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