ウェーハー裏面研削砥石
裏面研削砥石の用途:
apphireエピタキシャルウエハ、シリコンウエハ、ガリウム砒素、GaNウエハの裏面薄化、研削、微研削に
適用研削盤:Okamoto , Disco, TSK and STRASBAUGH等
ボンド:ビトリファイドボンド、レジンボンド
直径(mm):D175、D195、D209、D305、D335等
シリコンウェーハの製造プロセス: インゴット、クロッピング、円筒研削、インゴットスライス、ダブルディスク研削またはラッピング、エッジ研削、表面研削、研磨、裏面研削、ダイシング、チップ
-
主に多結晶シリコンの平面研削・面取り、単結晶シリコンの平面・円筒研削に使います。
シリコンロッド用円筒研削・外径研削ホイール
-
LED 産業のサファイアウエハー、シリコンウエハー、ガリウム砒素、窒化ガリウムウエハーのバックグラインディング用
シリコンウェーハバックグラインディングダイヤモンドホイール
-
ディスクリートデバイス、集積回路基板シリコンウェーハ、サファイアエピタキシャルウェーハ、シリコンウェーハ、ヒ素、GaNウェーハ、シリコンベースチップ等のバックシンニング、フロントグラインドおよびファイングラインドに使います。
各種シリコンウェーハ平面研削用研削砥石