シリコンウェーハ面取り研削ホイール

シリコンウェーハ用エッジ研削用ダイヤモンドホイール

面取りしていないシリコンウェーハを研削チャックに取り付け、専用のプロファイル研削ホイールでウェーハのエッジを研削します。 メタルボンドホイールやレジンボンドホイールは、シリコンウェーハ外周部のエッジ研削に使用され、ホイールの形状精度や耐摩耗性に加え、切れ味も求められます。

外周加工ホイールとノッチ研削ホイールの両方に、単溝、多溝、複合荒仕上げの 3 つのタイプがあります。

面取り研削ホイールの応用：

サファイア基板、炭化ケイ素基板、シリコンウェーハ、液晶パネル、ITOガラス（透明導電膜）、PDP ガラス、石英ガラス、微結晶ガラス、太陽電池ガラス、自動車用ガラスのエッジ研削又はノッチ研削に使います。

メタルボンドダイヤモンドホイール：粗研削、正確で精密なエッジ形状を得ます。

レジンダイヤモンドホイール：仕上げ研削、良好な面粗度を得ます。

シリコン・サファイアウェーハ面取り用研削ダイヤモンドホイールの特長

– 長寿命で溝形状保持力良し

–面取り幅を均一に研磨し、剛性に優れます

– ダイヤモンド層が均一で、加工損傷を最小限に抑えます

– この面取り加工により、ウェーハーの最終的な直径が調整されます

– 研削ホイールの溝精度が高く、さまざまなウエハー形状に対応できます